曝光机检测

　

检测项目

曝光分辨率、边缘粗糙度、图形精度、图形拼接精度、套刻精度、电子束流检测、扫描频率测试、移动速度检测、移动范围检测等。

适用范围

电子束曝光机、掩模对准曝光机、投影曝光机等。

相关检测标准

SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件

SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范

SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

SJ/T 11079-1996 掩膜对准曝光机通用技术条件

办理检测报告的目的

1、评定产品质量的好坏;

2、判断产品质量等级，即缺陷严重程度;

3、对工艺流程进行检验和工序质量的监督;

4.对质量数据进行搜集统计与分析，以便为质量改进与质量管理活动的开展奠定基础;

5.引入仲裁检验判断质量事故责任。

检测报告的注意事项

1.报告中没有“研究测试专用章”和公章，报告没有防伪二维码无效;

2.复制的报告不复盖“研究测试专用章”或者公章无效;

3.报告没有主检，审查，审批人员签名无效;

4.涂改报告无效的;

5.检测报告如有异议，应当在收到报告后15日内提出，逾期不予受理;